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許光城、陳建銘,2005,“反應式離子蝕刻技術在矽基材料蝕刻之參數分析,”中國機械工程學會第二十二屆全國學術研討會,論文編號D6-011,中壢市,國立中央大學,2005/11/25~26。(NSC 93-2745-E-151-002-)
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